国产光刻机出海，江苏海思第 17 台出口欧洲产品整装待发

江苏海思半导体科技有限公司（简称“HISIGK”）于2026年10月12日宣布，境外客户验收代表团当日进入其洁净车间，对一台即将出口的全自动光刻机进行出厂验收。

根据双方协议，验收完成后，该设备将立即启程发运——这是自2024年以来，HISIGK向海外市场交付的第17台光刻设备。

10月13日，一台8英寸全自动光刻机在HISIGK完成出厂调试及客户验收，随后装车发运。该设备将用于硅基Micro LED晶圆的图形化制程。此次发运的设备是一款面向8英寸（200mm）晶圆的全自动掩模对准光刻机。

需要说明的是，江苏海思半导体科技有限公司与公众熟知的华为旗下“海思技术有限公司”并非同一实体。

HISIGK表示，其核心团队拥有15年黄光区光刻工艺经验。2019年，1μm级全自动接触式光刻机实现规模商用；2023年，商用步进式光刻机推向市场；2024年，推出分辨率为350nm／500nm的步进式投影光刻机。

目前，HISIGK在苏州相城与成都天府新区设有双基地，产品覆盖2至12英寸晶圆单面及双面对准光刻设备，广泛应用于MEMS、集成电路、化合物半导体、功率器件、3D封装（TSV）、AR／Micro LED等领域。